羅茨泵的 限真空除取決于泵本身結構和制造 度外，還取決于前級泵的 限真空。為了提高泵的 限真空度，可將羅茨泵串聯使用。
　　在羅茨泵腔內，有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有 的 ，可以實現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。
　　羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子 部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。
　　羅茨泵實質上與凸輪泵相同，但轉子是羅茨型的。它能輸送黏度為數萬厘泊的液體。羅茨泵主要是有兩個旋轉方向相反的轉子位于泵體中，由一對同步齒輪傳動。轉子與凸輪泵一樣，既有雙葉的，也有三葉和多葉的。形狀種類很多。

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